赛微电子宣布,其控股子公司赛莱克斯北京制造的某款MEMS(微机电系统)生物芯片通过了客户验证。客户同时签署了试产订单,开始了首批MEMS生物芯片8英寸晶圆的小批量试产。MEMS制造技术可以加工微纳泵、阀门、管道、容器等。在微小的生物芯片中,将生物传感器的复杂功能集成到芯片中,实现生物芯片的高灵敏度、高精度、微创应用、低成本和批量生产。